يضم العصر المتأخر فترة حكم الأسرات من الأسرة ال26 إلى الأسرة ال31 (664- 332 ق.م). وكانت الأسرة ال26 تمثل عودة الازدهار, بعد فترة الاضمحلال خلال عصر الانتقال الثالث. وفى عام 525ق.م قهر الفرس الذين أتوا من البلاد التي تسمى (إيران حاليا) وقاموا بأعمال إصلاح إداري وترتيب القوانين وبناء المعابد والأشغال العامة. وبموت الملك الفارسي داريوس الثاني ( عام 404 ق.م) أصبحت مصر مستقلة مرة أخرى. ثم عاد الفرس فاستولوا على مصر ثانية عام 343 ق.م؛ ولكن لفترة وجيزة (13 عاما)؛ انتهت بهزيمتهم على يد الإسكندر الأكبر وبداية العصر اليوناني الروماني.